山东省商务厅、山东省发展和改革委员会 山东省工业和信息化厅 山东省财政厅 关于印发《山东省鼓励进口技术和产品目录(2020年版)》的通知
关于印发《山东省鼓励进口技术和产品目录(2020年版)》的通知
各市商务局、发展改革委、工信局、财政局:
为认真贯彻落实《国务院办公厅关于推进对外贸易创新发展的实施意见》《中共山东省委关于深化改革创新打造对外开放新高地意见》,扩大先进技术、关键设备和零部件进口,更好发挥进口对外贸稳增长、调结构和我省新旧动能转换的推动作用,省商务厅会同省发展改革委、省工业和信息化厅、省财政厅研究修订了《山东省鼓励进口技术和产品目录(2020年版)》。现予印发,自发布之日起实施。
《山东省商务厅 山东省发展和改革委员会 山东省工业和信息化厅 山东省财政厅关于印发山东省鼓励进口技术和产品目录(2018 年版)的通知》(鲁商字〔2018〕226号)所附《山东省鼓励进口技术和产品目录(2018 年版)》同时废止。省商务厅会同省发展改革委、省工业和信息化厅、省财政厅将根据情况需要,适时对目录进行调整。
附件:山东省鼓励进口技术和产品目录(2020 年版)
山东省商务厅 山东省发展和改革委员会
山东省工业和信息化厅 山东省财政厅
2021 年 1 月 19 日
(此件主动公开)
附件
山东省鼓励进口技术和产品目录
(2020 年版)
一、鼓励引进的先进技术
序号 | 技术名称 | 十强产业 (*) |
A1 | 工程机械高性能液压技术、传动系统等分析、测试技术 | * |
A2 | 汽车为轻量化采用国际新型材料的复杂异形零部件的铸造加工技术 | * |
A3 | 汽车发动机可变升程气门系统关键零部件设计制造技术 | * |
A4 | IT0 级以上高精密异形铸造零部件加工技术 | * |
A5 | 汽车及高速列车用橡胶制品系列化、高性能化产品制备及应用技术 | * |
A6 | 高效螺杆压缩机技术 | * |
A7 | 高效离心压缩机技术 | * |
A8 | 高温风冷热泵技术 | * |
A9 | 高耗能变压器节能技术 | * |
A10 | 电机定子绕组制造装备技术 | * |
A11 | 1250MW 级封闭母线关键技术 | |
A12 | 特高压变压器雷电冲击伏秒特性技术 | |
A13 | 新一代智能门禁访问控制系统技术 | |
A14 | 新型墙体材料装备关键技术 | * |
A15 | 异丁烯直接氧化法生产甲基丙烯酸酯技术 | * |
A16 | 异丁烷脱氢技术 | * |
A17 | 乙烯直接氧化法生产环氧乙烷技术 | * |
A18 | 绿色环保型烷基化异辛烷技术 | * |
A19 | 汽柴油加氢脱硫技术、国 VI 汽油质量升级技术 | * |
A20 | 丁苯胶乳新生产工艺技术 | * |
A21 | 离子膜性能优化技术 | * |
A22 | 特种异氰酸酯、己二腈、非光气法六亚甲基二异氰酸酯(HDI)、无毒脱硝催化剂、高性能氟/硅树脂、生物尼龙等高端化工新材料制备关键技术 |
* |
序号 | 技术名称 | 十强产业 (*) |
A23 | 精密机房空调技术 | |
A24 | 深井地热水无害化处理技术 | |
A25 | 宽幅 1.8m 的双辊镁合金板材铸轧技术 | |
A26 | 轮胎全自动化生产关键技术 | |
A27 | 聚烯烃等通用树脂高性能化技术 | * |
A28 | 氢化丁氰、卤化丁基、高性能乙丙、氯化丁基等特种橡胶制备关键技术 | * |
A29 | 单条年产 10 万吨及以上化学机械木浆生产线的高浓磨浆技术 | |
A30 | 制浆造纸行业的废塑料、废渣的无害化、资源化综合利用技术 | |
A31 | 高强高模量碳纤维生产技术 | * |
A32 | 含氟聚合物新型聚合、后处理技术 | * |
A33 | 超声电机及系统技术 | * |
A34 | “中水”深度处理和资源化利用技术 | |
A35 | 特种工程塑料生产技术 | * |
A36 | 异佛尔酮二异氰酸酯精馏技术 | * |
A37 | 硝酸浓酸、DNT 废酸浓缩技术 | |
A38 | 硝基苯生产工艺技术 | |
A39 | 新 280mm 缸径柴油机平台的设计 | * |
A40 | CW200 4 气门缸盖设计开发技术 | |
A41 | SPK 磁路组合设备开发 | |
A42 | 超抗弯、低衰减、高速度、高传输效率、环保节能光纤拉丝制备T-MFT 技术和FHX 技术 | |
A43 | 电动汽车用磁阻同步电机及控制技术 | * |
A44 | 汽车悬架结构运动与弹性变形的测量系统 | * |
A45 | 幅宽 6000mm 以上、且车速 1200m/min 及以上造纸机械制造技术 | |
A46 | 减摩复合材料研究与制备技术 | |
A47 | 高性能低温尼龙复合材料研究与制备技术 | * |
A48 | 混合动力自动变速器设计制造及控制系统开发技术 | * |
A49 | 丹麦托普索 WSA 湿法制酸技术 | * |
A50 | 共氧化法环氧丙烷技术 | * |
A51 | 催化制烯烃技术 | * |
A52 | 丙烷脱氢技术 | * |
序号 | 技术名称 | 十强产业 (*) |
A53 | 蒸汽裂解乙烷、石脑油等原料制乙烯技术 | * |
A54 | 低压淤浆法生产高密度聚乙烯树脂技术 | * |
A55 | 气相流化床法生产全密度聚乙烯树脂技术 | * |
A56 | 液相环管法生产聚丙烯树脂技术 | * |
A57 | 乙烯三聚生产 1-己烯技术 | * |
A58 | 新型抗癌药物、新型心脑血管疾病治疗药物、新型糖尿病治疗药物等重大多发性疾病药物的研发、生产技术及先进的药物制剂制造技术 | |
A59 | 管道配件机器人视觉技术 | * |
A60 | 锌灰锌渣还原回收技术 | |
A61 | 管道配件、阀门等气密检验自动化技术 | |
A62 | 异形铸件自动计数及包装技术 | |
A63 | 设备运行状态在线监测技术 | * |
A64 | 高性能溶聚丁苯橡胶关键制备技术 | * |
A65 | 连续法聚丁烯技术 | * |
A66 | 丙烯/丁烯齐聚技术 | * |
A67 | 石油焦制腐植酸技术 | * |
A68 | 干气综合利用制苯乙烯技术 | * |
A69 | 乙烯-四氟乙烯共聚物膜加工技术 | * |
A70 | 流量 0.005m³/h,设计出口压力 6.5mpa 的催化剂计量单元 | * |
A71 | 6 英寸导电性和半绝缘型衬底 | * |
A72 | 6 英寸碳化硅外延片 | * |
A73 | 新能源汽车 SiC mos 管芯片 | * |
A74 | 全碳化硅功率模组,其中半桥拓扑结构和三相全桥拓扑结构 | * |
A75 | 新能源汽车 碳化硅二极管芯片 | * |
二、鼓励进口的先进设备
序号 |
商品编码 |
商品名称 | 十强产业 (*) |
B1 | 6902900000 | 耐火砖,辐射管、辐射入口集合管及出口部件 | |
B2 | 7307210000 | 高温高压蒸汽用旋转接头:耐温 20-300℃,耐压 1mpa,耐腐蚀 | * |
B3 | 7307990000 | 烯烃生产用提升管 | * |
B4 | 8409991000 | 芳烃转阀 | * |
B5 | 84122100 | 数控液压气垫 | * |
B6 |
8413190000 | 碳纤维原丝用齿轮泵(能力:0.6-5m3/hr,出入口压差: 0.2-4mpa,输送聚合物黏度:10-500PaS,耐腐蚀) |
* |
B7 | 84141000 | 造纸用透平真空机:小于 75kpa,2800m3/min | * |
B8 | 84145990 | 透平机抽真空、冷却风机 | * |
B9 | 8414599099 | 过氧化氢分布风机 | * |
B10 | 8414804090 | 芳烃热泵离心压缩机 | * |
B11 | 8414809090 | 变频螺杆空气压缩机 | * |
B12 | 8416900000 | 烧嘴 | * |
B13 |
8417100000 | 熔炼炉:容量 90t,铝液温差<±5℃,熔化速率 18.2t/h; 保温炉:容量 100t,熔体控制精度≤±3℃,升温速度>30℃/h | |
B14 | 84192000 | 脉动真空高压蒸汽灭菌柜、蒸汽灭菌胶塞处理机 | |
B15 | 8419399090 | 除湿干燥机、冷干机 | |
B16 | 84198 | 导热油炸机、螺旋蒸烤机、烟熏炉、解冻设备 | |
B17 | 8419899090 | 丙烷脱氢反应装置 | * |
B18 | 8419909000 | 流化床干燥器加热板组 | * |
B19 |
8420100090 | 涂布机:涂覆厚度 5-20μm、孔隙率 40%-60%的高能量密度电池用聚合物薄膜材料; 自动转换熨压机 |
* |
B20 | 8420990000 | 砑光机或其他滚压机的未列名零件 | |
B21 | 8421199090 | 旋风分离器及内件 | |
B22 |
8421299090 | 酸回收管理系统:公称流量 700L/h,HNO3 回收率 85%-90%,HF 回收率 80%-85% |
* |
B23 | 8422309090 | 铝塑泡罩包装生产线 |
序号 |
商品编码 |
商品名称 | 十强产业 (*) |
B24 | 8422400000 | 贴剂分装一体机 | |
B25 | 8424200000 | 超声喷涂机 | |
B26 | 84243000 | 抛丸设备 | |
B27 | 8424899990 | 其他用途的喷射、喷雾机械器具(喷蒸加热系统) | |
B28 | 8428330000 | 自动化传动设备 | * |
B29 |
842839 | 原木进料输送线含金属探测仪、板材分选线的输送部分(不含控制部分)、木材废料输送线(不含电控柜)、带锯线用木材进料升降输送机 | |
B30 | 8428399000 | 旋转螺旋取料机 | |
B31 |
842890 | 移动工作台;残卷机械手、废料箱传送装置、卷材小车,重复精度±0.3mm;定位精度<1mm;装卸臂 |
* |
B32 | 8428904000 | 取出机 | |
B33 |
84289090 | 搬运机器人、机械手:1、重复精度±0.3mm;水平最大半径≥ 2200mm;水平最小半径≤1100mm;垂直最大距离(距地面)≥ 3000mm;垂直最小距离(距地面)≤600mm;2、工作节拍,max.37s,定位精度<1mm;3、残卷机械手、废料箱传送装置、卷材小车: 重复精度±0.3mm;定位精度<1mm |
* |
B34 |
8428909090 | 高空作业绝缘斗臂车上装:绝缘等级 46kv-500kv,下臂旋转角度 0-92°,上臂旋转角度-25-85°,作业高度 25m,作业幅度15m | |
B35 | 84371010 | 光学色差颗粒选别机 | |
B36 | 8441 | 制造纸浆纸品、纸制品或纸板纸品的机器,包括各种切纸机 | |
B37 |
8443150000 | 双色印刷机:1.功率:220/380V;2.电功率:300W;3.产能: 25-45 个/min | |
B38 | 8443192101 | 园网印花机 | |
B39 | 8443393100 | 纺织用数码印花机 | |
B40 | 84440010 | 合成纤维长丝纺丝机:生产(卷装)速度>2800m/min | * |
B41 | 8444009000 | 高速精密卷绕机 | |
B42 | 8445204200 | 细络联型紧密纺细纱机 | |
B43 | 8445401000 | 细络联型自动络筒机 | |
B44 | 8445409000 | 碳纤维原丝卷绕机 | * |
B45 | 8446302000 | 剑杆织机:织物幅宽>940mm | |
B46 | 8447120000 | 针织大圆机:圆筒直径>165mm |
序号 |
商品编码 |
商品名称 | 十强产业 (*) |
B47 | 8447201200 | 多轴向特种纤维经编机 | * |
B48 | 8448320000 | 纤维张力器 | * |
B49 | 8449 | 水刺五纺布生产设备 | * |
B50 | 84514000 | 洗涤、漂白或染色机器 | |
B51 | 8451500000 | 热塑性预浸料生产线及自动裁剪设备(含胶膜设备) | * |
B52 | 84518000 | 定型机、精炼机、丝光机、磨毛机、涂层机:宽幅≥1800mm | |
B53 |
8454309000 | 铝锭铸造机:液压缸行程 9650mm,铸造长度 9150mm,每铸次铸锭总重 100t |
* |
B54 |
8455229090 | 压延铜箔用精轧机:最薄轧制厚度 0.006mm,轧制宽度 650mm, 最高轧制速度 600m/min |
* |
B55 |
8456100090 | 激光加工机床:机床精度 XYZ 轴 0.01mm,激光扫描范围 70mm*70mm,波长 1064nm,最大进给速度 XY 轴 15m/min,Z 轴12m/min T-Mark 30XX |
* |
B56 | 8456110000 | 激光加工机床 | * |
B57 | 8456301090 | 数控电火花成型机床、数控慢走丝线割机床 | * |
B58 | 8457101000 | 数控三轴加工中心 | * |
B59 | 8457102000 | 卧式加工金属的加工中心 | * |
B60 |
8457103000 | 高精数控龙门铣车床:8m*12m,ф8*300t 花盘承重 300t,8m*4m 工作台承重 300t,或者 5m*10m,ф5*200t 花盘承重 200t,5*5 工作台承重 200t |
* |
B61 | 8457300000 | 数控多工位组合加工机床、自动转台式多工位组合机床 | * |
B62 |
8459410000 | 内外双立柱专用数控镗床:外立柱 Y1=6m,滑枕 Z1=1.5m,内立柱 Y2=5m,转台ф5m,承重 80t,滑枕 Z2=0.8m |
* |
B63 | 84597000 | 螺纹切削机 | * |
B64 | 8460121000 | 数控平面磨床 | * |
B65 | 8460241900 | 数控光学曲线 | * |
B66 | 8460310000 | 数控刀具研磨机、数控坐标磨床 | * |
B67 |
8460402000 | 数控精密双端面研磨机:高度公差±0.002mm、平行度 0.002mm、平面度 0.002mm,表面粗糙度≤Ra0.6,加工分辨率为 0.0001mm |
* |
B68 |
8460909000 | 铸件自动去毛刺机:机器人最大载荷:500kg,清理设备精度: ≥0.1mm |
* |
B69 | 8461300000 | 切削金属或金属陶瓷的拉床 | * |
序号 |
商品编码 |
商品名称 | 十强产业 (*) |
B70 |
8462311000 | 压延铜箔用纵向剪切设备:最薄剪切厚度 0.006mm,剪切宽度650mm,最高剪切速度 100m/min |
* |
B71 |
8462411900 | 数控高速冲床,径向精锻机(冷锻锻造力 4MN,节拍数 410 次 /min;热锻锻造力 25MN,节拍数 160 次/min) |
* |
B72 |
8463300000 | 加工机:进线直径 383μm,出线直径 150μm,设备延伸率 12%, 模具延伸率 12%,最大拉丝速度 10m/s |
* |
B73 | 84659200 | 环式刨片机:刀片长度 690mm | * |
B74 | 8465930000 | 喷砂抛光机、数控自动抛光机 | * |
B75 | 8465990000 | 五坐标数控龙门高速加工中心 | * |
B76 | 8466300000 | 数控机床部件-分度盘 | * |
B77 | 8466940090 | 液压管路总成 | * |
B78 | 84743900 | 混砂机 | * |
B79 |
8474809090 | 模板造型生产线自动铸型输送线,自动造型机、静压造型自动线、自动化静压造型机 |
* |
B80 |
8475299000 |
玻璃纤维筋生产设备 |
* |
B81 | 8477510000 | 全自动一次法成型机 | * |
B82 | 8477591000 | 3D 砂型打印机 | * |
B83 |
8477599000 |
轮胎成型机 | |
B84 |
8477800000 | 橡胶或塑料加工机器:1.丁基橡胶后处理装置:3700kg/h ;2. 纤维钢丝两用压延机;3.零度带束层生产线;4.全自动水平带刀刨切机,标准刨切机 H24B,工作宽度 1200mm;5.分切机:分切厚度 5-20μm、孔隙率 40%-60%的高能量密度电池用聚合物薄膜材料 |
* |
B85 | 8477900000 | 四叶滚轴(穿轴式) | |
B86 | 8479509010 | CRDM 管座 J 型坡口机器人焊接系统 | * |
B87 | 8479600000 | 工艺气冷却器 | |
B88 |
8479811000 | 绕线机:1.主轴转速:0-3500,绕线叉最大工作直径ф370mm, 适应叠厚范围 20-160mm;2.绕线直径 0.01-2.0mm;速度 0-12000U/min,绕线轴最大直径>190mm;3.单丝预成型设计: 最大直径:750mm;最大宽度:120mm;缠绕角度:38-58° |
序号 |
商品编码 |
商品名称 | 十强产业 (*) |
B89 |
8479819000 | 压延铜箔用脱脂清洗机:最薄清洗厚度 0.006mm,清洗箔材宽度 650mm,最高脱脂速度 100m/min |
* |
B90 | 8479820090 | 刨花板高压节胶系统,全自动珠磨机 | |
B91 | 8479896200 | 倒装贴片机 | |
B92 |
8479899990 | 涂胶机器人:1.涂胶重复定位精度0.15mm;2.拧紧力矩:≧10Nm;位移精度±0.03mm,扭矩精度 2% 软胶囊制丸机:技术参数 22kw,5rpm 直刷机,EMI 溅镀机,MVR 蒸发器,3D 打印成型机,ATL 自动铺带机,AFP 自动铺丝机 |
* |
B93 | 8481201000 | 油压传动阀 | |
B94 | 8481804090 | 滑阀、旋塞阀 | |
B95 | 84836000 | 压力机用离合器 | |
B96 | 8486202200 | IT0 膜真空溅射装置 | |
B97 | 8486402100 | 塑封机 | |
B98 | 8501109990 | 汽车用微型电机类设备 | |
B99 |
8514109000 | 铝材退火炉:加热料件最大长度 20m,保温阶段温度均匀性精度≤±3℃ |
* |
B100 |
851420 | 感应加热炉:额定功率 750kw,额定频率 150hz,频率范围100-150hz,功率因子>0.95,功率输出精确度 1% | |
B101 | 85152191 | 高频直缝焊管机 | |
B102 | 8515290000 | 全位置窄间隙热丝 TIG 管对接焊机 | * |
B103 | 8515809010 | 局部真空电子束焊接设备 | * |
B104 | 8515809090 | 锡球植球机、热压焊接机、激光焊补机 | |
B105 | 8516299000 | 重整电加热器 | |
B106 | 8536500000 | 安全连锁开关 | |
B107 | 8537101990 | 芳烃 MD 高效塔盘 | * |
B108 | 8537109090 | 油压传动阀电控装置 | |
B109 |
8543300090 | 压延铜箔的表面电镀处理机:最薄处理厚度 0.006mm,处理铜 箔宽度 650mm |
* |
B110 | 8543709100 | 金属检测机 | * |
B111 | 87084060 | 特种车用变速箱及其零件 |
序号 |
商品编码 |
商品名称 | 十强产业 (*) |
B112 | 9008503900 | 激光投影仪 | * |
B113 | 9015100000 | 激光跟踪仪 | * |
B114 | 90221920 | 轮胎 X 光机 | * |
B115 | 9022199090 | X 射线检测机、探伤仪 | * |
B116 |
9026100000 | 高精度质量流量计:1.介质:水、DMSO;2.压力 0.05-1.4mpa; 3.温度-10-150℃;4.流量范围 0.018-4m3/h;5.粘度 0.8949-1.996;6.1000-1100kg/m3 |
* |
B117 | 90262010 | 高精度压力变送器:1.操作温度最高 100℃;2.量程 0-1m | * |
B118 | 9026809000 | 旋转粘度计:转速:0.1-200rpm | * |
B119 |
9027 | 理化分析仪器及装置(例如,偏振仪、折光仪、分光仪、气体或烟雾分析仪);测量或检验黏性、多孔性、膨胀性、表面张力及类似性能的仪器及装置;测量或检验热量、声量或光量的仪器及装置(包括曝光表);检镜切片机 |
* |
B120 | 9027100090 | 气体分析仪 | * |
B121 | 9027201900 | 凝胶渗透色谱仪 | * |
B122 | 9027300000 | 便携式直读光谱仪、红外光谱仪、X 射线荧光光谱仪 | * |
B123 | 90275000 | 氧氮氢分析仪 | * |
B124 | 9027809900 | 激光粒度仪 | * |
B125 | 9030899090 | 蓝牙综测仪 | * |
B126 | 9031100090 | 轮胎动平衡试验机 | * |
B127 | 9031499090 | 光纤分析系统、色散分析系统 | * |
B128 | 9031802000 | 三次元坐标测量仪 | * |
B129 |
9031803100 |
超声扫描检测系统 |
* |
B130 |
9031809090 | 均匀性检测机、齿轮检测中心、2311 光纤翘曲度测试系统、87472-50 光时域反射仪、自动变速箱试验检测装备、在线 3D 锡膏检测仪、粗糙度检测仪 |
* |
B131 | 9031900090 | 汽车动力总成试验装备 | * |
B132 | 9032899050 | 伺服驱动器、电机 | * |
B133 | 9032899090 | 气提管 | |
B134 |
8419899090 | 单台蒸发面积≥48 平方米、控温精度在士 2℃、真空度达到 -0.95bar 以上的 Lyocell 纤维生产用薄膜蒸发器 |
* |
序号 |
商品编码 |
商品名称 | 十强产业 (*) |
B135 |
8414804090 | 流量 39000m³/h,入口压力 1.4mpa,出口压力 1.49mpa 循环气压缩机 |
* |
B136 | 8414804090 | 流量:262.8m³/h,出口压力 4.1mpa 迷宫式排放气回收压缩机 | * |
B137 | 8413810090 | 流量 440m³/h,入口压力 4.7mpa,出口压力 4.772mpa 的轴流泵 | * |
B138 |
8479820090 | 内管:SA516 Gr70N/ SA-672 C70、弯管:SA516 Gr70N/ SA-672 C70、外管:Q345R、锻件:09MnNiDⅢ/Ⅳ 16MnⅡ、膨胀节: Q345R/S32168、螺柱/螺母:35CrMoA/30CrMoA 多区反应器、环管反应器 |
* |
B139 |
8413709990 | 流量 250m³/h,入口压力 1.82mpa,出口压力 2.5mpa 丙烯进料泵 |
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B140 |
8479820090 | 设计温度-45℃—180℃,设计压力 4mpa 汽蒸器及搅拌器/预接 触罐及搅拌器 |
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B141 | 8413602190 | 流量 0.22m³/h,入口压力 0.05mpa,出口压力 6.025mpa 齿轮泵 | * |
B142 | 84814000 | 反应器进口安全阀 | * |
B143 |
8479820090 | 循环流量≥5000m³/h、功率>165kw、轴流式、转速 152-451rpm 的溴化丁基橡胶聚合反应器搅拌器 |
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B144 |
8477800000 | 处理量>4.0t/h,出口压力大约 5Mpa,带蒸汽加热夹套,出口带旋切装置,出口挥发分<2%双螺杆干燥机 |
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B145 | 8537109090 | 丁基橡胶后处理干燥装置配套控制系统 | * |
B146 |
8479899990 | 自动组装机(用于 MEMS 器件自动组装生产) 精度控制:±20um;视觉检测+激光测高。 |
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B147 |
9030820000 | ATE 自动测试机(用于 MEMS 器件芯片制造) Power 模块: 通道数 128ch; 电压范围 0-15V/PIN, 单通道非捆绑最大电流≥ 1A/PIN, 电流测量分辨率≤ 0.5nA;电压测量精度≤ 1mV; Digital 模块:通道数 256ch;每通道具有 PPMU 功能; 电压测量精度≤ 1mV,电压测量分辨率≤ 75uV,电流测量分辨 率≤ 1nA。 |
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B148 |
8486201000 | 真空固化炉(用于非制冷红外焦平面探测器器件焊接) 最高温度:450℃,升温速度:6°C/min, 温度均匀性:±5℃;氧含量:<10PPM; 极限真空:1*10-5Torr;氮气流量:15~25L/min。 |
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序号 |
商品编码 |
商品名称 | 十强产业 (*) |
B149 |
8486402900 | 键合机(用于 MEMS 器件芯片制造) 最大加热温度: 550℃, 可调节分辨率: 1℃; 加热精度: ≤±1℃; 加热均匀性: ≤±2%; 加热速度: 1℃/min ~ 45℃/min; 最大键合压力: 20KN; 最小键合压力: 200N; 压力精度: ≤±3%或±300N; 压力均匀性: ≤±5%。 |
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B150 |
8486402900 | 对准机(用于 MEMS 器件芯片制造) 晶圆:8inch;对准精度:±2um; |
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B151 | 9011200000 | 红外性能测试系统(用于 MEMS 器件芯片生产过程的检测) | * |
B152 |
8514109000 | 黑体(用于非制冷红外焦平面探测器器件功能测试) 绝对温度范围从–75°C 到+150°C; 发射面积可达 300 mm x 300 mm。 |
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B153 |
8486202200 | 蒸发镀膜机(用于 MEMS 器件芯片制造) Max 温度:350℃,一致性:200℃±10℃; 真空度:3.0E-5Pa;转速:32.5 to 78.0(r/min)。 |
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B154 | 8486102000 | 晶片研磨机 | * |
B155 | 8486109000 | 晶片清洗设备(前端制程) | * |
B156 | 8486109000 | 晶片清洗设备(后端制程) | * |
B157 | 8486202100 | 化学气相沉积设备 | * |
B158 | 8486202200 | 铝铜层溅镀机 | * |
B159 | 8486202200 | 碳化层溅镀机 | * |
B160 | 8486202200 | 镍钛铟层溅镀机 | * |
B161 | 8419899090 | 钢瓶冷却装置 | * |
B162 | 8419899090 | 高温燃烧废气处理设备 | * |
B163 | 8421399090 | 工艺排气处理装置(酸碱废气洗涤)-废气清除装置 | * |
B164 | 8456110090 | 激光打标机 | * |
B165 | 8479899990 | 惰性气体供应装置 | * |
B166 | 8479899990 | 大流量气体供给设备 | * |
B167 | 8479899990 | 液体输送柜 | * |
B168 | 8486104000 | 化学机械研磨设备 | * |
B169 | 8486201000 | 高温扩散炉 | * |
B170 | 8486201000 | 快速热退火设备 | * |
B171 | 8486202200 | 物理气相沉积设备 | * |
序号 |
商品编码 |
商品名称 | 十强产业 (*) |
B172 | 8486203900 | 在线式涂布显影机 | * |
B173 | 8486203900 | 扫描式光刻机 | * |
B174 | 8486204100 | 干法刻蚀机 | * |
B175 | 8486204100 | 湿式刻蚀机 | * |
B176 | 8486204100 | 等离子体深沟槽刻蚀机 | * |
B177 | 8486204900 | 湿式金属层蚀刻机 | * |
B178 | 8486204900 | 等离子去胶机 | * |
B179 | 8486205000 | 高电流离子植入机 | * |
B180 | 8486209000 | 晶片清洗设备 | * |
B181 | 8486403900 | 晶圆导片机 | * |
B182 | 9012100000 | 扫描电子显微镜 | * |
B183 | 9027801990 | 氦气测漏机 | * |
B184 | 9031410000 | 膜厚测量仪 | * |
B185 | 8486102000 | 晶片研磨机 | * |
B186 | 8486109000 | 晶片清洗设备(前端制程) | * |
B187 | 8486109000 | 晶片清洗设备(后端制程) | * |
B188 | 8486202100 | 化学气相沉积设备 | * |