山东省商务厅、山东省发展和改革委员会 山东省工业和信息化厅 山东省财政厅 关于印发《山东省鼓励进口技术和产品目录(2020年版)》的通知

发布日期:2021-01-19 08:58 信息来源:山东省商务厅 山东省发展和改革委员会 山东省工业和信息化厅 山东省财政厅 浏览次数: 字体:[ ]
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关于印发《山东省鼓励进口技术和产品目录(2020年版)》的通知

 

各市商务局、发展改革委、工信局、财政局:

为认真贯彻落实《国务院办公厅关于推进对外贸易创新发展的实施意见》《中共山东省委关于深化改革创新打造对外开放新高地意见》,扩大先进技术、关键设备和零部件进口,更好发挥进口对外贸稳增长、调结构和我省新旧动能转换的推动作用,省商务厅会同省发展改革委、省工业和信息化厅、省财政厅研究修订了《山东省鼓励进口技术和产品目录(2020年版)》。现予印发,自发布之日起实施。

《山东省商务厅 山东省发展和改革委员会 山东省工业和信息化厅 山东省财政厅关于印发山东省鼓励进口技术和产品目录(2018 年版)的通知》(鲁商字〔2018〕226号)所附《山东省鼓励进口技术和产品目录(2018 年版)》同时废止。省商务厅会同省发展改革委、省工业和信息化厅、省财政厅将根据情况需要,适时对目录进行调整。

 

附件:山东省鼓励进口技术和产品目录(2020 年版)

 

山东省商务厅     山东省发展和改革委员会

山东省工业和信息化厅  山东省财政厅

 

2021 年 1 月 19 日

(此件主动公开)



附件

 

 

山东省鼓励进口技术和产品目录

2020 年版)

 

一、鼓励引进的先进技术

 

序号

技术名称

十强产业

(*)

A1

工程机械高性能液压技术、传动系统等分析、测试技术

*

A2

汽车为轻量化采用国际新型材料的复杂异形零部件的铸造加工技术

*

A3

汽车发动机可变升程气门系统关键零部件设计制造技术

*

A4

IT0 级以上高精密异形铸造零部件加工技术

*

A5

汽车及高速列车用橡胶制品系列化、高性能化产品制备及应用技术

*

A6

高效螺杆压缩机技术

*

A7

高效离心压缩机技术

*

A8

高温风冷热泵技术

*

A9

高耗能变压器节能技术

*

A10

电机定子绕组制造装备技术

*

A11

1250MW 级封闭母线关键技术


A12

特高压变压器雷电冲击伏秒特性技术


A13

新一代智能门禁访问控制系统技术


A14

新型墙体材料装备关键技术

*

A15

异丁烯直接氧化法生产甲基丙烯酸酯技术

*

A16

异丁烷脱氢技术

*

A17

乙烯直接氧化法生产环氧乙烷技术

*

A18

绿色环保型烷基化异辛烷技术

*

A19

汽柴油加氢脱硫技术、国 VI 汽油质量升级技术

*

A20

丁苯胶乳新生产工艺技术

*

A21

离子膜性能优化技术

*

 

A22

特种异氰酸酯、己二腈、非光气法六亚甲基二异氰酸酯(HDI)、无毒脱硝催化剂、高性能氟/硅树脂、生物尼龙等高端化工新材料制备关键技术

 

*


 

 

序号

技术名称

十强产业

(*)

A23

精密机房空调技术


A24

深井地热水无害化处理技术


A25

宽幅 1.8m 的双辊镁合金板材铸轧技术


A26

轮胎全自动化生产关键技术


A27

聚烯烃等通用树脂高性能化技术

*

A28

氢化丁氰、卤化丁基、高性能乙丙、氯化丁基等特种橡胶制备关键技术

*

A29

单条年产 10 万吨及以上化学机械木浆生产线的高浓磨浆技术


A30

制浆造纸行业的废塑料、废渣的无害化、资源化综合利用技术


A31

高强高模量碳纤维生产技术

*

A32

含氟聚合物新型聚合、后处理技术

*

A33

超声电机及系统技术

*

A34

“中水”深度处理和资源化利用技术


A35

特种工程塑料生产技术

*

A36

异佛尔酮二异氰酸酯精馏技术

*

A37

硝酸浓酸、DNT 废酸浓缩技术


A38

硝基苯生产工艺技术


A39

新 280mm 缸径柴油机平台的设计

*

A40

CW200 4 气门缸盖设计开发技术


A41

SPK 磁路组合设备开发


 

A42

超抗弯、低衰减、高速度、高传输效率、环保节能光纤拉丝制备T-MFT 技术FHX 技术


A43

电动汽车用磁阻同步电机及控制技术

*

A44

汽车悬架结构运动与弹性变形的测量系统

*

A45

幅宽 6000mm 以上、且车速 1200m/min 及以上造纸机械制造技术


A46

减摩复合材料研究与制备技术


A47

高性能低温尼龙复合材料研究与制备技术

*

A48

混合动力自动变速器设计制造及控制系统开发技术

*

A49

丹麦托普索 WSA 湿法制酸技术

*

A50

共氧化法环氧丙烷技术

*

A51

催化制烯烃技术

*

A52

丙烷脱氢技术

*


 

 

序号

技术名称

十强产业

(*)

A53

蒸汽裂解乙烷、石脑油等原料制乙烯技术

*

A54

低压淤浆法生产高密度聚乙烯树脂技术

*

A55

气相流化床法生产全密度聚乙烯树脂技术

*

A56

液相环管法生产聚丙烯树脂技术

*

A57

乙烯三聚生产 1-己烯技术

*

 

A58

新型抗癌药物、新型心脑血管疾病治疗药物、新型糖尿病治疗药物等重大多发性疾病药物的研发、生产技术及先进的药物制剂制造技术


A59

管道配件机器人视觉技术

*

A60

锌灰锌渣还原回收技术


A61

管道配件、阀门等气密检验自动化技术


A62

异形铸件自动计数及包装技术


A63

设备运行状态在线监测技术

*

A64

高性能溶聚丁苯橡胶关键制备技术

*

A65

连续法聚丁烯技术

*

A66

丙烯/丁烯齐聚技术

*

A67

石油焦制腐植酸技术

*

A68

干气综合利用制苯乙烯技术

*

A69

乙烯-四氟乙烯共聚物膜加工技术

*

A70

流量 0.005m³/h,设计出口压力 6.5mpa 的催化剂计量单元

*

A71

6 英寸导电性和半绝缘型衬底

*

A72

6 英寸碳化硅外延片

*

A73

新能源汽车 SiC mos 管芯片

*

A74

全碳化硅功率模组,其中半桥拓扑结构和三相全桥拓扑结构

*

A75

新能源汽车 碳化硅二极管芯片

*


 

 

 

 

 

二、鼓励进口的先进设备

 

序号

 

商品编码

 

商品名称

十强产业

(*)

B1

6902900000

耐火砖,辐射管、辐射入口集合管及出口部件


B2

7307210000

高温高压蒸汽用旋转接头:耐温 20-300℃,耐压 1mpa,耐腐蚀

*

B3

7307990000

烯烃生产用提升管

*

B4

8409991000

芳烃转阀

*

B5

84122100

数控液压气垫

*

 

B6

 

8413190000

碳纤维原丝用齿轮泵(能力:0.6-5m3/hr,出入口压差:

0.2-4mpa,输送聚合物黏度:10-500PaS,耐腐蚀)

 

*

B7

84141000

造纸用透平真空机:小于 75kpa,2800m3/min

*

B8

84145990

透平机抽真空、冷却风机

*

B9

8414599099

过氧化氢分布风机

*

B10

8414804090

芳烃热泵离心压缩机

*

B11

8414809090

变频螺杆空气压缩机

*

B12

8416900000

烧嘴

*

 

B13

 

8417100000

熔炼炉:容量 90t,铝液温差<±5℃,熔化速率 18.2t/h; 保温炉:容量 100t,熔体控制精度≤±3℃,升温速度>30℃/h


B14

84192000

脉动真空高压蒸汽灭菌柜、蒸汽灭菌胶塞处理机


B15

8419399090

除湿干燥机、冷干机


B16

84198

导热油炸机、螺旋蒸烤机、烟熏炉、解冻设备


B17

8419899090

丙烷脱氢反应装置

*

B18

8419909000

流化床干燥器加热板组

*

 

 

B19

 

 

8420100090

涂布机:涂覆厚度 5-20μm、孔隙率 40%-60%的高能量密度电池用聚合物薄膜材料;

自动转换熨压机

 

 

*

B20

8420990000

砑光机或其他滚压机的未列名零件


B21

8421199090

旋风分离器及内件


 

B22

 

8421299090

酸回收管理系统:公称流量 700L/h,HNO3 回收率 85%-90%,HF 回收率 80%-85%

 

*

B23

8422309090

铝塑泡罩包装生产线



 

 

 

序号

 

商品编码

 

商品名称

十强产业

(*)

B24

8422400000

贴剂分装一体机


B25

8424200000

超声喷涂机


B26

84243000

抛丸设备


B27

8424899990

其他用途的喷射、喷雾机械器具(喷蒸加热系统)


B28

8428330000

自动化传动设备

*

 

 

B29

 

 

842839

原木进料输送线含金属探测仪、板材分选线的输送部分(不含控制部分)、木材废料输送线(不含电控柜)、带锯线用木材进料升降输送机


B30

8428399000

旋转螺旋取料机


 

B31

 

842890

移动工作台;残卷机械手、废料箱传送装置、卷材小车,重复精度±0.3mm;定位精度<1mm;装卸臂

 

*

B32

8428904000

取出机


 

 

 

B33

 

 

 

84289090

搬运机器人、机械手:1、重复精度±0.3mm;水平最大半径≥ 2200mm;水平最小半径≤1100mm;垂直最大距离(距地面)≥

3000mm;垂直最小距离(距地面600mm2、工作节拍,max.37s定位精度<1mm;3、残卷机械手、废料箱传送装置、卷材小车:

重复精度±0.3mm;定位精度<1mm

 

 

 

*

 

 

B34

 

 

8428909090

高空作业绝缘斗臂车上装:绝缘等级 46kv-500kv,下臂旋转角度 0-92°,上臂旋转角度-25-85°,作业高度 25m,作业幅度15m


B35

84371010

光学色差颗粒选别机


B36

8441

制造纸浆纸品、纸制品或纸板纸品的机器,包括各种切纸机


 

B37

 

8443150000

双色印刷机:1.功率:220/380V;2.电功率:300W;3.产能: 25-45 个/min


B38

8443192101

园网印花机


B39

8443393100

纺织用数码印花机


B40

84440010

合成纤维长丝纺丝机:生产(卷装)速度>2800m/min

*

B41

8444009000

高速精密卷绕机


B42

8445204200

细络联型紧密纺细纱机


B43

8445401000

细络联型自动络筒机


B44

8445409000

碳纤维原丝卷绕机

*

B45

8446302000

剑杆织机:织物幅宽>940mm


B46

8447120000

针织大圆机:圆筒直径>165mm



 

 

 

序号

 

商品编码

 

商品名称

十强产业

(*)

B47

8447201200

多轴向特种纤维经编机

*

B48

8448320000

纤维张力器

*

B49

8449

水刺五纺布生产设备

*

B50

84514000

洗涤、漂白或染色机器


B51

8451500000

热塑性预浸料生产线及自动裁剪设备(含胶膜设备)

*

B52

84518000

定型机、精炼机、丝光机、磨毛机、涂层机:宽幅≥1800mm


 

B53

 

8454309000

铝锭铸造机:液压缸行程 9650mm,铸造长度 9150mm,每铸次铸锭总重 100t

 

*

 

B54

 

8455229090

压延铜箔用精轧机:最薄轧制厚度 0.006mm,轧制宽度 650mm, 最高轧制速度 600m/min

 

*

 

 

B55

 

 

8456100090

激光加工机床:机床精度 XYZ 轴 0.01mm,激光扫描范围

70mm*70mm, 1064nm,最大进给 XY  15m/min,Z 12m/min T-Mark 30XX

 

 

*

B56

8456110000

激光加工机床

*

B57

8456301090

数控电火花成型机床、数控慢走丝线割机床

*

B58

8457101000

数控三轴加工中心

*

B59

8457102000

卧式加工金属的加工中心

*

 

 

B60

 

 

8457103000

高精数控龙门铣车床:8m*12m,ф8*300t 花盘承重 300t,8m*4m 工作台承重 300t,或者 5m*10m,ф5*200t 花盘承重 200t,5*5 工作台承重 200t

 

 

*

B61

8457300000

数控多工位组合加工机床、自动转台式多工位组合机床

*

 

B62

 

8459410000

内外双立柱专用数控镗床:外立柱 Y1=6m,滑枕 Z1=1.5m,内立柱 Y2=5m,转台ф5m,承重 80t,滑枕 Z2=0.8m

 

*

B63

84597000

螺纹切削机

*

B64

8460121000

数控平面磨床

*

B65

8460241900

数控光学曲线

*

B66

8460310000

数控刀具研磨机、数控坐标磨床

*

 

B67

 

8460402000

数控精密双端面研磨机:高度公差±0.002mm、平行度 0.002mm平面度 0.002mm,表面粗糙度≤Ra0.6,加工分辨率为 0.0001mm

 

*

 

B68

 

8460909000

铸件自动去毛刺机:机器人最大载荷:500kg,清理设备精度:

≥0.1mm

 

*

B69

8461300000

切削金属或金属陶瓷的拉床

*


 

 

 

序号

 

商品编码

 

商品名称

十强产业

(*)

 

B70

 

8462311000

压延铜箔用纵向剪切设备:最薄剪切厚度 0.006mm,剪切宽度650mm,最高剪切速度 100m/min

 

*

 

B71

 

8462411900

数控高速冲床,径向精锻机(冷锻锻造力 4MN,节拍数 410 次

/min;热锻锻造力 25MN,节拍数 160 次/min)

 

*

 

B72

 

8463300000

加工机:进线直径 383μm,出线直径 150μm,设备延伸率 12%, 模具延伸率 12%,最大拉丝速度 10m/s

 

*

B73

84659200

环式刨片机:刀片长度 690mm

*

B74

8465930000

喷砂抛光机、数控自动抛光机

*

B75

8465990000

五坐标数控龙门高速加工中心

*

B76

8466300000

数控机床部件-分度盘

*

B77

8466940090

液压管路总成

*

B78

84743900

混砂机

*

 

B79

 

8474809090

模板造型生产线自动铸型输送线,自动造型机、静压造型自动线、自动化静压造型机

 

*

 

B80

 

8475299000

 

玻璃纤维筋生产设备

 

*

B81

8477510000

全自动一次法成型机

*

B82

8477591000

3D 砂型打印机

*

 

B83

 

8477599000

 

轮胎成型机


 

 

 

B84

 

 

 

8477800000

橡胶或塑料加工机器:1.丁基橡胶后处理装置:3700kg/h ;2. 纤维钢丝两用压延机;3.零度带束层生产线;4.全自动水平带刀刨切机,标准刨切机 H24B,工作宽度 1200mm;5.分切机:分切厚度 5-20μm、孔隙率 40%-60%的高能量密度电池用聚合物薄膜材料

 

 

 

*

B85

8477900000

四叶滚轴(穿轴式)


B86

8479509010

CRDM 管座 J 型坡口机器人焊接系统

*

B87

8479600000

工艺气冷却器


 

 

 

B88

 

 

 

8479811000

绕线机:1.主轴转速:0-3500,绕线叉最大工作直径ф370mm, 适应叠厚范围 20-160mm;2.绕线直径 0.01-2.0mm;速度

0-12000U/min,绕线轴最大直径>190mm;3.单丝预成型设计:

最大直径:750mm;最大宽度:120mm;缠绕角度:38-58°



 

 

 

序号

 

商品编码

 

商品名称

十强产业

(*)

 

B89

 

8479819000

压延铜箔用脱脂清洗机:最薄清洗厚度 0.006mm,清洗箔材宽度 650mm,最高脱脂速度 100m/min

 

*

B90

8479820090

刨花板高压节胶系统,全自动珠磨机


B91

8479896200

倒装贴片机


 

 

 

B92

 

 

 

8479899990

涂胶机器人:1.涂胶重复定位精度0.15mm2.拧紧力矩:≧10Nm位移精度±0.03mm,扭矩精度 2%

软胶囊制丸机:技术参数 22kw,5rpm

直刷机,EMI 溅镀机,MVR 蒸发器,3D 打印成型机,ATL 自动铺带机,AFP 自动铺丝机

 

 

 

*

B93

8481201000

油压传动阀


B94

8481804090

滑阀、旋塞阀


B95

84836000

压力机用离合器


B96

8486202200

IT0 膜真空溅射装置


B97

8486402100

塑封机


B98

8501109990

汽车用微型电机类设备


 

B99

 

8514109000

铝材退火炉:加热料件最大长度 20m,保温阶段温度均匀性精度≤±3℃

 

*

 

B100

 

851420

感应加热炉:额定功率 750kw,额定频率 150hz,频率范围100-150hz,功率因子>0.95,功率输出精确度 1%


B101

85152191

高频直缝焊管机


B102

8515290000

全位置窄间隙热丝 TIG 管对接焊机

*

B103

8515809010

局部真空电子束焊接设备

*

B104

8515809090

锡球植球机、热压焊接机、激光焊补机


B105

8516299000

重整电加热器


B106

8536500000

安全连锁开关


B107

8537101990

芳烃 MD 高效塔盘

*

B108

8537109090

油压传动阀电控装置


 

B109

 

8543300090

压延铜箔的表面电镀处理机:最薄处理厚度 0.006mm,处理铜

箔宽度 650mm

 

*

B110

8543709100

金属检测机

*

B111

87084060

特种车用变速箱及其零件



 

 

 

序号

 

商品编码

 

商品名称

十强产业

(*)

B112

9008503900

激光投影仪

*

B113

9015100000

激光跟踪仪

*

B114

90221920

轮胎 X 光机

*

B115

9022199090

X 射线检测机、探伤仪

*

 

 

B116

 

 

9026100000

高精度质量流量计:1.介质:水、DMSO;2.压力 0.05-1.4mpa; 3.温度-10-150℃;4.流量范围 0.018-4m3/h;5.粘度

0.8949-1.996;6.1000-1100kg/m3

 

 

*

B117

90262010

高精度压力变送器:1.操作温度最高 100℃;2.量程 0-1m

*

B118

9026809000

旋转粘度计:转速:0.1-200rpm

*

 

 

B119

 

 

9027

理化分析仪器及装置(例如,偏振仪、折光仪、分光仪、气体或烟雾分析仪);测量或检验黏性、多孔性、膨胀性、表面张力及类似性能的仪器及装置;测量或检验热量、声量或光量的仪器及装置(包括曝光表);检镜切片机

 

 

*

B120

9027100090

气体分析仪

*

B121

9027201900

凝胶渗透色谱仪

*

B122

9027300000

便携式直读光谱仪、红外光谱仪、X 射线荧光光谱仪

*

B123

90275000

氧氮氢分析仪

*

B124

9027809900

激光粒度仪

*

B125

9030899090

蓝牙综测仪

*

B126

9031100090

轮胎动平衡试验机

*

B127

9031499090

光纤分析系统、色散分析系统

*

B128

9031802000

三次元坐标测量仪

*

 

B129

 

9031803100

 

超声扫描检测系统

 

*

 

 

B130

 

 

9031809090

均匀性检测机、齿轮检测中心、2311 光纤翘曲度测试系统、87472-50 光时域反射仪、自动变速箱试验检测装备、在线 3D 锡膏检测仪、粗糙度检测仪

 

 

*

B131

9031900090

汽车动力总成试验装备

*

B132

9032899050

伺服驱动器、电机

*

B133

9032899090

气提管


 

B134

 

8419899090

单台蒸发面积≥48 平方米、控温精度在士 2℃、真空度达到

-0.95bar 以上的 Lyocell 纤维生产用薄膜蒸发器

 

*


 

 

 

序号

 

商品编码

 

商品名称

十强产业

(*)

 

B135

 

8414804090

流量 39000m³/h,入口压力 1.4mpa,出口压力 1.49mpa 循环气压缩机

 

*

B136

8414804090

流量:262.8m³/h,出口压力 4.1mpa 迷宫式排放气回收压缩机

*

B137

8413810090

流量 440m³/h,入口压力 4.7mpa,出口压力 4.772mpa 的轴流泵

*

 

 

 

B138

 

 

 

8479820090

内管:SA516 Gr70N/ SA-672 C70、弯管:SA516 Gr70N/ SA-672

C70、外管:Q345R、锻件:09MnNiDⅢ/Ⅳ 16MnⅡ、膨胀节: Q345R/S32168、螺柱/螺母:35CrMoA/30CrMoA 多区反应器、环管反应器

 

 

*

 

B139

 

8413709990

流量 250m³/h,入口压力 1.82mpa,出口压力 2.5mpa 丙烯进料泵

 

*

 

B140

 

8479820090

设计温度-45℃—180℃,设计压力 4mpa 汽蒸器及搅拌器/预接

触罐及搅拌器

 

*

B141

8413602190

流量 0.22m³/h,入口压力 0.05mpa,出口压力 6.025mpa 齿轮泵

*

B142

84814000

反应器进口安全阀

*

 

B143

 

8479820090

循环流量≥5000m³/h、功率>165kw、轴流式、转速 152-451rpm 的溴化丁基橡胶聚合反应器搅拌器

 

*

 

B144

 

8477800000

处理量>4.0t/h,出口压力大约 5Mpa,带蒸汽加热夹套,出口带旋切装置,出口挥发分<2%双螺杆干燥机

 

*

B145

8537109090

丁基橡胶后处理干燥装置配套控制系统

*

 

B146

 

8479899990

自动组装机(用于 MEMS 器件自动组装生产) 精度控制:±20um;视觉检测+激光测高。

 

*

 

 

 

 

 

B147

 

 

 

 

 

9030820000

ATE 自动测试机(用于 MEMS 器件芯片制造)

Power 模块: 通道数 128ch; 电压范围 0-15V/PIN, 单通道非捆绑最大电流≥ 1A/PIN, 电流测量分辨率≤ 0.5nA;电压测量精度≤ 1mV;

Digital 通道 256ch;通道具 PPMU 功能; 精度 1mV,电压辨率 75uV,

率≤ 1nA。

 

 

 

 

 

*

 

 

 

B148

 

 

 

8486201000

真空固化炉(用于非制冷红外焦平面探测器器件焊接) 最高温度:450℃,升温速度:6°C/min,

温度均匀性:±5℃;氧含量:<10PPM;

极限真空:1*10-5Torr;氮气流量:15~25L/min。

 

 

*


 

 

 

序号

 

商品编码

 

商品名称

十强产业

(*)

 

 

 

 

B149

 

 

 

 

8486402900

键合机(用于 MEMS 器件芯片制造)

最大加热温度: 550℃, 可调节分辨率: 1℃; 加热精度:

≤±1℃; 加热均匀性: ≤±2%; 加热速度: 1℃/min ~ 45℃/min;

最大键合压力: 20KN; 最小键合压力: 200N; 压力精度:

≤±3%或±300N; 压力均匀性: ≤±5%。

 

 

 

 

*

 

B150

 

8486402900

对准机(用于 MEMS 器件芯片制造) 晶圆:8inch;对准精度:±2um;

 

*

B151

9011200000

红外性能测试系统(用于 MEMS 器件芯片生产过程的检测)

*

 

 

B152

 

 

8514109000

黑体(用于非制冷红外焦平面探测器器件功能测试) 绝对温度范围从–75°C 到+150°C;

发射面积可达 300 mm x 300 mm。

 

 

*

 

 

B153

 

 

8486202200

蒸发镀膜机(用于 MEMS 器件芯片制造) Max 温度:350℃,一致性:200℃±10℃;

真空度:3.0E-5Pa;转速:32.5 to 78.0(r/min)。

 

 

*

B154

8486102000

晶片研磨机

*

B155

8486109000

晶片清洗设备(前端制程)

*

B156

8486109000

晶片清洗设备(后端制程)

*

B157

8486202100

化学气相沉积设备

*

B158

8486202200

铝铜层溅镀机

*

B159

8486202200

碳化层溅镀机

*

B160

8486202200

镍钛铟层溅镀机

*

B161

8419899090

钢瓶冷却装置

*

B162

8419899090

高温燃烧废气处理设备

*

B163

8421399090

工艺排气处理装置(酸碱废气洗涤)-废气清除装置

*

B164

8456110090

激光打标机

*

B165

8479899990

惰性气体供应装置

*

B166

8479899990

大流量气体供给设备

*

B167

8479899990

液体输送柜

*

B168

8486104000

化学机械研磨设备

*

B169

8486201000

高温扩散炉

*

B170

8486201000

快速热退火设备

*

B171

8486202200

物理气相沉积设备

*


 

 

 

序号

 

商品编码

 

商品名称

十强产业

(*)

B172

8486203900

在线式涂布显影机

*

B173

8486203900

扫描式光刻机

*

B174

8486204100

干法刻蚀机

*

B175

8486204100

湿式刻蚀机

*

B176

8486204100

等离子体深沟槽刻蚀机

*

B177

8486204900

湿式金属层蚀刻机

*

B178

8486204900

等离子去胶机

*

B179

8486205000

高电流离子植入机

*

B180

8486209000

晶片清洗设备

*

B181

8486403900

晶圆导片机

*

B182

9012100000

扫描电子显微镜

*

B183

9027801990

氦气测漏机

*

B184

9031410000

膜厚测量仪

*

B185

8486102000

晶片研磨机

*

B186

8486109000

晶片清洗设备(前端制程)

*

B187

8486109000

晶片清洗设备(后端制程)

*

B188

8486202100

化学气相沉积设备

*